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半导体行业专用仪器
OAI Model 212紫外光刻机
OAI Model 800E紫外光刻机
OAI掩膜光刻机Model 6000
Model 6020S紫外光刻机
URE-2000/35A型紫外单面光刻机
URE-2000B型紫外单面光刻机
ZEP520A电子束光刻胶
AZ 1500系列i线光刻胶
德国ALLRESIST导电胶AR-PC5090和AR-PC5091
英国EM SML Resist电子束光刻胶
光学仪器及设备
海德堡μMLA桌面无掩模光刻机
OAI UV Led光源
URE-2000/35AL型紫外单面光刻机
URE-2000/30型紫外单面光刻机
URE-2000S/35L(B)型双面光刻机
URE-2000S/35L(A)型紫外双面光刻机
URE-2000S/25S型双面光刻机
URE-2000S/A8型紫外双面光刻机
URE-2000S/A型紫外双面光刻机
URE-2000S/B型紫外双面光刻机
其他
美国NanoArch陶瓷树脂精密3D打印机MicroArch S240
日立Hitachi离子溅射仪MC1000
英国Nanomagnetics振动样品磁强计VSM
英国HHV溅射镀膜仪BT150,BT300
法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统SSDR 150
法国Alyxan高分辨质子传递反应质谱PTR-FTICR MS
德国Sentech光伏测量仪MDPspot
德国Sentech光伏测量仪MDPmap
德国Sentech光伏测量仪器MDPpro
MDPinlinescan在线寿命和电阻率逐行扫描仪
制样/消解设备
NIE-4000离子束刻蚀系统
牛津Oxford等离子体刻蚀机PlasmaPro 80 RIE
美TED Pella高分辨离子溅射仪208HR
美TED PELLA自动离子溅射仪108AUTO
PDC-002美国Harrick扩展型等离子清洗机
PDC-32G-2美国Harrick基本型等离子清洗机
德国Diener等离子清洗机Nano
德国Diener等离子清洗机Zepto
德国Diemer等离子清洗机Femto
德国Diener等离子清洗机
分子生物学仪器
IZON qEV尺寸排阻柱
德国Kruss液滴形状分析DSA25
等离体共振分析仪MP-SPR Navi 220A
Micro Pulser电穿孔仪
英国Cleaver高分辨率垂直电泳系统CSQ20
瑞士罗氏Roche全自动核酸纯化仪MagNA
英国CLEAVER水平电泳系统Horizontal Gel
台式钙流检测工作站FlexStation 3
美国Molecular光吸收型酶标仪SpectraMax 190
美国Sciex遗传分析系统GenomeLab GeXP
清洗/消毒设备
美国必能信Branson台式超声波清洗机CPX1800-8800系列
美国Uvitron全功能紫外面光源Intelli-RAY 400W
紫外线杀菌消毒台灯QD-UV-01
英国Glovebox学术手套箱Academic
英国Glovebox真空室手套箱
PDC-MG美国Harrich高集成度等离子清洗机
美国Uvitron紫外面光源INTELLI-RAY 400W
英国AMBA曝光灯AM7977X,AM11353X(AM7000)
SUSS苏斯光刻机用曝光灯HBO 200W/DC ,HBO 350W/S,
P-Laser激光清洗系统
光谱检测分析仪
曰立Hitachi塞曼原子吸收光谱仪ZA3000
德国neaspec纳米傅里叶红外光谱仪nano-FTIR
美Thorlabs傅立叶红外光谱仪OCS201C,OCS202C,OCS203
德国Bruker ALPHA II FTIR傅立叶变换近红外光谱仪
德国Bruker FT-NIR光谱仪Tango,MPA,Matrix-I
BRAVO手持式拉曼光谱仪
日本JEOL X射线荧光光谱仪JSX-1000S
Dimension FastScan德国BRUKER原子力显微镜AFM
比表面积测定仪
英国MML纳米压痕仪NanoTest Vantage
Kla纳米压痕仪G200,G200X,iMicro
接触角测定仪JY-PHa
德国KRUSS标准型接触角测量仪DSA25
100标准型接触角测量仪/Contact angle measuring dev
100S接触角测量仪
德国Mecwins扫描式激光分析仪SCALA
色谱仪
法SEBIA全自动毛细管电泳仪Capillarys 3 OCTA
LTQ Orbitrap XL ETD液质联用系统
赛默飞Themo Scientific液相色谱系统Vanquish UHPLC
集成型毛细管离子色谱ICS-40
模块化气相色谱仪TRACE 1300
赛默飞多功能离子色谱ICS-5000
X射线仪器
日本Rigaku智能多功能X射线衍射仪Smartlab SE
日本理学XRD X射线多晶衍射仪SmartLab
日本理学台式XRD X射线衍射仪Miniflex 600
德国YXLON高分辨率X射线检测设备-平板探测器
临床检验仪器设备
美国PerkinElmer多功能液闪/发光分析仪MicroBeta
Molecular读板机SpectraMax iD5
无损检测/无损探伤仪器
美国SONIX超声波扫描显微镜ECHO-VS, ECHO Pro
英国AML邦定机AWB 04 & 08 Platform
生物工程设备
DSA100德Kruss液滴形状分析仪
瑞士Cytosurge注入器iyFluidFM BOT
微生物检测仪器
新西兰IZON外泌体分离鉴定系统qNano
Thermo Scientific微生物培养箱Precision
质谱检测分析仪
TSQ Fort三重四极杆质谱仪
磁学测量仪器
美Quantum Design多铁材料磁电测量系统Super-ME-II
激光粒度仪
美SD粒子碰撞噪声检测仪4511A、4511L、4511M4、4511M6
波谱仪器
英国Oxford实验室用智能核磁共振波谱仪Pulsar
细胞生物学仪器
美国Bd单细胞分析系统Rhapsody TM
气体检测仪
日本A&D粒子计数器(粒度计)SV-1A
成像系统
ImageXpress Pico自动细胞成像
联系方式 |
产品系列
URE-2000/35AL 型紫外单面光刻机
主要技术参数:
(1)曝光面积:150mm×150mm;
(2)照明不均匀性: ≤4%( Ф 150mm 范围);
(3)分辨力:1.0μm(365nm 波长)
(4)对准精度:≤±0.8μm;
(5)掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸;
(6)样片尺寸:直径 Ф 15mm-- Ф 150mm、厚度 0.1mm--6mm;
(7)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta:±6°;
(8)掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
(9)曝光光源:紫外 LED(进口);
(10)曝光波长:365nm;
(11)曝光强度:≥15mW/cm2 ;
(12)曝光定时:倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).
(13)调平接触压力通过传感器保证重复
(14)数字设定对准间隙和曝光间隙
(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口
技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。
(1)曝光头系统包括:
◆ 进口紫外 LED 光源模块;
◆ LED 光源整形模块;
◆ XYZ 光源位置调节台;
◆ 光学系统(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组(79 个透镜)、场镜组、反射镜组);
◆ 冷却风扇。
(2)对准工件台系统包括:
◆ 掩模样片相对运动台(XY);
◆ 转动台;
◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式;
◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙;
◆ 承片台 4 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 个);
◆ 掩模夹 4 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 个)。
(3)CCD 对准显微镜系统包括:
◆ 对准光源 LED 灯;
◆ 双目双视场对准显微镜主体;
◆ 目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个);
◆ 物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个);
◆ CCD 部件;
◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。
(4)电控系统包括:
◆ 单片机控制系统;
◆ 紫外 LED 电源模块;
◆ 控制柜桌。
(5)气动系统包括:
◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。
(6).辅助设备配置:
◆ 真空泵 1 台(干泵);
◆ 静音空气压缩机 1 台;
◆ 配套接管 10m;
(7).备品备件
◆ 对准光源灯 4 只(LED-1W,不包括机器自带的两只);