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半导体行业专用仪器
OAI Model 212紫外光刻机
OAI Model 800E紫外光刻机
OAI掩膜光刻机Model 6000
Model 6020S紫外光刻机
URE-2000/35A型紫外单面光刻机
URE-2000B型紫外单面光刻机
ZEP520A电子束光刻胶
AZ 1500系列i线光刻胶
德国ALLRESIST导电胶AR-PC5090和AR-PC5091
英国EM SML Resist电子束光刻胶
光学仪器及设备
海德堡μMLA桌面无掩模光刻机
OAI UV Led光源
URE-2000/35AL型紫外单面光刻机
URE-2000/30型紫外单面光刻机
URE-2000S/35L(B)型双面光刻机
URE-2000S/35L(A)型紫外双面光刻机
URE-2000S/25S型双面光刻机
URE-2000S/A8型紫外双面光刻机
URE-2000S/A型紫外双面光刻机
URE-2000S/B型紫外双面光刻机
其他
美国NanoArch陶瓷树脂精密3D打印机MicroArch S240
日立Hitachi离子溅射仪MC1000
英国Nanomagnetics振动样品磁强计VSM
英国HHV溅射镀膜仪BT150,BT300
法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统SSDR 150
法国Alyxan高分辨质子传递反应质谱PTR-FTICR MS
德国Sentech光伏测量仪MDPspot
德国Sentech光伏测量仪MDPmap
德国Sentech光伏测量仪器MDPpro
MDPinlinescan在线寿命和电阻率逐行扫描仪
制样/消解设备
NIE-4000离子束刻蚀系统
牛津Oxford等离子体刻蚀机PlasmaPro 80 RIE
美TED Pella高分辨离子溅射仪208HR
美TED PELLA自动离子溅射仪108AUTO
PDC-002美国Harrick扩展型等离子清洗机
PDC-32G-2美国Harrick基本型等离子清洗机
德国Diener等离子清洗机Nano
德国Diener等离子清洗机Zepto
德国Diemer等离子清洗机Femto
德国Diener等离子清洗机
分子生物学仪器
IZON qEV尺寸排阻柱
德国Kruss液滴形状分析DSA25
等离体共振分析仪MP-SPR Navi 220A
Micro Pulser电穿孔仪
英国Cleaver高分辨率垂直电泳系统CSQ20
瑞士罗氏Roche全自动核酸纯化仪MagNA
英国CLEAVER水平电泳系统Horizontal Gel
台式钙流检测工作站FlexStation 3
美国Molecular光吸收型酶标仪SpectraMax 190
美国Sciex遗传分析系统GenomeLab GeXP
清洗/消毒设备
美国必能信Branson台式超声波清洗机CPX1800-8800系列
美国Uvitron全功能紫外面光源Intelli-RAY 400W
紫外线杀菌消毒台灯QD-UV-01
英国Glovebox学术手套箱Academic
英国Glovebox真空室手套箱
PDC-MG美国Harrich高集成度等离子清洗机
美国Uvitron紫外面光源INTELLI-RAY 400W
英国AMBA曝光灯AM7977X,AM11353X(AM7000)
SUSS苏斯光刻机用曝光灯HBO 200W/DC ,HBO 350W/S,
P-Laser激光清洗系统
光谱检测分析仪
曰立Hitachi塞曼原子吸收光谱仪ZA3000
德国neaspec纳米傅里叶红外光谱仪nano-FTIR
美Thorlabs傅立叶红外光谱仪OCS201C,OCS202C,OCS203
德国Bruker ALPHA II FTIR傅立叶变换近红外光谱仪
德国Bruker FT-NIR光谱仪Tango,MPA,Matrix-I
BRAVO手持式拉曼光谱仪
日本JEOL X射线荧光光谱仪JSX-1000S
Dimension FastScan德国BRUKER原子力显微镜AFM
比表面积测定仪
英国MML纳米压痕仪NanoTest Vantage
Kla纳米压痕仪G200,G200X,iMicro
接触角测定仪JY-PHa
德国KRUSS标准型接触角测量仪DSA25
100标准型接触角测量仪/Contact angle measuring dev
100S接触角测量仪
德国Mecwins扫描式激光分析仪SCALA
色谱仪
法SEBIA全自动毛细管电泳仪Capillarys 3 OCTA
LTQ Orbitrap XL ETD液质联用系统
赛默飞Themo Scientific液相色谱系统Vanquish UHPLC
集成型毛细管离子色谱ICS-40
模块化气相色谱仪TRACE 1300
赛默飞多功能离子色谱ICS-5000
X射线仪器
日本Rigaku智能多功能X射线衍射仪Smartlab SE
日本理学XRD X射线多晶衍射仪SmartLab
日本理学台式XRD X射线衍射仪Miniflex 600
德国YXLON高分辨率X射线检测设备-平板探测器
临床检验仪器设备
美国PerkinElmer多功能液闪/发光分析仪MicroBeta
Molecular读板机SpectraMax iD5
无损检测/无损探伤仪器
美国SONIX超声波扫描显微镜ECHO-VS, ECHO Pro
英国AML邦定机AWB 04 & 08 Platform
生物工程设备
DSA100德Kruss液滴形状分析仪
瑞士Cytosurge注入器iyFluidFM BOT
微生物检测仪器
新西兰IZON外泌体分离鉴定系统qNano
Thermo Scientific微生物培养箱Precision
波谱仪器
英国Oxford实验室用智能核磁共振波谱仪Pulsar
细胞生物学仪器
美国Bd单细胞分析系统Rhapsody TM
气体检测仪
日本A&D粒子计数器(粒度计)SV-1A
成像系统
ImageXpress Pico自动细胞成像
质谱检测分析仪
TSQ Fort三重四极杆质谱仪
磁学测量仪器
美Quantum Design多铁材料磁电测量系统Super-ME-II
激光粒度仪
美SD粒子碰撞噪声检测仪4511A、4511L、4511M4、4511M6
联系方式 |
产品系列
208HR高分辨离子溅射仪-适用于场发射扫描电镜
一、主要特性
。可选择多种镀膜材料
。精确的膜厚控制
。样品台控制灵活:可对样品台进行独立的旋转、行星式转动、倾斜控制,保证形貌差异大的样品也能得到**的镀膜效果。
。多个样品座:提供4个样品座,每个样品座直径32mm,可装载多达6个小样品座。
。样品室几何可变: 样品室几何用于调节镀膜的速率(1.0nm/s ~ 0.002nm/s)
。宽范围的操作压力:独立的功率和压力调节,氩气的压力大小范围为0.2 - 0.005 mbar。
。紧凑、现代的桌上型设计
。操作容易
二、技术参数
溅射系统 | |
镀膜头 | 低电压平面磁控管 靶材更换快速 环绕暗区护罩 靶材调节遮挡 |
靶材 | Cr, Pt/Pd (标配) Ta, Au, Au/Pd, Pt, W, Ir (选配) |
镀膜控制 | 微处理器控制 安全互锁 电流控制与真空度无关 数字化可选电流(20,40,60 和 80mA) |
样品室大小 | 直径150mm 高度165 - 250mm |
样品台 | 非重复的旋转、行星式转动,并可手动倾斜0-90° 转动速度可调 晶体头 4个样品台 |
模拟计量 | 真空 Atm - .001mb 电流 0-100mA |
控制方法 | 自动气体净化和泄气功能 自动处理排序 带有“暂停”功能的数字计时器 自动放气 |
膜厚控制 | MTM-20高分辨膜厚控制仪 |
真空系统 | |
结构 | 分子涡轮牵引泵和旋叶泵组合, 代替旋叶泵的无油涡旋式真空泵(选配) |
抽真空速度 | 0.1mb 下300 l/min |
抽真空时间 | 1 mbar 至 1 x 10-3mbar |
极限真空 | 1 x 10-5mbar |
桌上型系统 | 旋叶泵置于抗震台上,全金属真空耦合系统 |
膜厚测控仪 | |
MTM-20 | 基于微处理器,4位数字显示,复位按钮, 6MHz晶体(具有寿命检查功能),5次/s的更新速率 |
膜厚范围 | 0.0 - 999.9nm |
分辨率 | 优于 0.1nm |
密度范围 | 0.50 - 30.00gm/cm3 |
修正系数范围 | 0.25 - 8.00 |
镀膜终止范围 | 膜厚0 - 999.9nm |
系统要求 | |
电气 | 100-120 或 200-240VAC, 50/60Hz |
功率 | 550VA(**) |
氩气 | *小纯度99.995% 调节压力 5 - 6 psi (0.4 bar) 6.0mm ID连接软管 |
208HR高分辨离子溅射仪为场发射扫描电镜应用中遇到的各种样品喷镀难题提供真正的解决方案。
场发射扫描电镜观察时,样品需镀上极其薄、无细晶且均匀的膜层以消除电荷积累,并提高低密度材料的对比度。为了将细晶的尺寸减小到*小程度,208HR提供了一系列的镀膜材料,并对膜厚和溅射条件提供无可媲美的控制。
208HR分子涡轮泵高真空系统提供宽范围的操作压力,可以对膜层的均匀性和一致性进行精确控制,并**程度减小充电效应。高/低样品室的结构设计使靶材和样品之间的距离调节变得极为方便。
MTM-20高分辨膜厚控制仪分辨率小于0.1nm,其作用是对所镀薄膜的厚度进行精确控制,它尤其适合场发射电镜对膜厚(0.5-3nm)的要求。
场发射扫描电镜镀膜推荐的靶材是:
。Pt/Pd:非导电样品镀膜的通用镀膜材料
。Cr:优良的半导体样品的镀膜材料
。Ir:优良的真正无细晶的镀膜材料
208HR系统为得到**高分辨镀膜效果提供了多种配置选择,可配备标准的旋片泵或提供干净真空的无油涡旋式真空泵,标配的208HR包含Cr 和 Pt/Pd靶。