手机版 |
产品分类 |
半导体行业专用仪器
OAI Model 212紫外光刻机
OAI Model 800E紫外光刻机
OAI掩膜光刻机Model 6000
Model 6020S紫外光刻机
URE-2000/35A型紫外单面光刻机
URE-2000B型紫外单面光刻机
ZEP520A电子束光刻胶
AZ 1500系列i线光刻胶
德国ALLRESIST导电胶AR-PC5090和AR-PC5091
英国EM SML Resist电子束光刻胶
光学仪器及设备
海德堡μMLA桌面无掩模光刻机
OAI UV Led光源
URE-2000/35AL型紫外单面光刻机
URE-2000/30型紫外单面光刻机
URE-2000S/35L(B)型双面光刻机
URE-2000S/35L(A)型紫外双面光刻机
URE-2000S/25S型双面光刻机
URE-2000S/A8型紫外双面光刻机
URE-2000S/A型紫外双面光刻机
URE-2000S/B型紫外双面光刻机
其他
美国NanoArch陶瓷树脂精密3D打印机MicroArch S240
日立Hitachi离子溅射仪MC1000
英国Nanomagnetics振动样品磁强计VSM
英国HHV溅射镀膜仪BT150,BT300
法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统SSDR 150
法国Alyxan高分辨质子传递反应质谱PTR-FTICR MS
德国Sentech光伏测量仪MDPspot
德国Sentech光伏测量仪MDPmap
德国Sentech光伏测量仪器MDPpro
MDPinlinescan在线寿命和电阻率逐行扫描仪
制样/消解设备
NIE-4000离子束刻蚀系统
牛津Oxford等离子体刻蚀机PlasmaPro 80 RIE
美TED Pella高分辨离子溅射仪208HR
美TED PELLA自动离子溅射仪108AUTO
PDC-002美国Harrick扩展型等离子清洗机
PDC-32G-2美国Harrick基本型等离子清洗机
德国Diener等离子清洗机Nano
德国Diener等离子清洗机Zepto
德国Diemer等离子清洗机Femto
德国Diener等离子清洗机
分子生物学仪器
IZON qEV尺寸排阻柱
德国Kruss液滴形状分析DSA25
等离体共振分析仪MP-SPR Navi 220A
Micro Pulser电穿孔仪
英国Cleaver高分辨率垂直电泳系统CSQ20
瑞士罗氏Roche全自动核酸纯化仪MagNA
英国CLEAVER水平电泳系统Horizontal Gel
台式钙流检测工作站FlexStation 3
美国Molecular光吸收型酶标仪SpectraMax 190
美国Sciex遗传分析系统GenomeLab GeXP
清洗/消毒设备
美国必能信Branson台式超声波清洗机CPX1800-8800系列
美国Uvitron全功能紫外面光源Intelli-RAY 400W
紫外线杀菌消毒台灯QD-UV-01
英国Glovebox学术手套箱Academic
英国Glovebox真空室手套箱
PDC-MG美国Harrich高集成度等离子清洗机
美国Uvitron紫外面光源INTELLI-RAY 400W
英国AMBA曝光灯AM7977X,AM11353X(AM7000)
SUSS苏斯光刻机用曝光灯HBO 200W/DC ,HBO 350W/S,
P-Laser激光清洗系统
光谱检测分析仪
曰立Hitachi塞曼原子吸收光谱仪ZA3000
德国neaspec纳米傅里叶红外光谱仪nano-FTIR
美Thorlabs傅立叶红外光谱仪OCS201C,OCS202C,OCS203
德国Bruker ALPHA II FTIR傅立叶变换近红外光谱仪
德国Bruker FT-NIR光谱仪Tango,MPA,Matrix-I
BRAVO手持式拉曼光谱仪
日本JEOL X射线荧光光谱仪JSX-1000S
Dimension FastScan德国BRUKER原子力显微镜AFM
比表面积测定仪
英国MML纳米压痕仪NanoTest Vantage
Kla纳米压痕仪G200,G200X,iMicro
接触角测定仪JY-PHa
德国KRUSS标准型接触角测量仪DSA25
100标准型接触角测量仪/Contact angle measuring dev
100S接触角测量仪
德国Mecwins扫描式激光分析仪SCALA
色谱仪
法SEBIA全自动毛细管电泳仪Capillarys 3 OCTA
LTQ Orbitrap XL ETD液质联用系统
赛默飞Themo Scientific液相色谱系统Vanquish UHPLC
集成型毛细管离子色谱ICS-40
模块化气相色谱仪TRACE 1300
赛默飞多功能离子色谱ICS-5000
X射线仪器
日本Rigaku智能多功能X射线衍射仪Smartlab SE
日本理学XRD X射线多晶衍射仪SmartLab
日本理学台式XRD X射线衍射仪Miniflex 600
德国YXLON高分辨率X射线检测设备-平板探测器
微生物检测仪器
新西兰IZON外泌体分离鉴定系统qNano
Thermo Scientific微生物培养箱Precision
临床检验仪器设备
美国PerkinElmer多功能液闪/发光分析仪MicroBeta
Molecular读板机SpectraMax iD5
无损检测/无损探伤仪器
美国SONIX超声波扫描显微镜ECHO-VS, ECHO Pro
英国AML邦定机AWB 04 & 08 Platform
生物工程设备
DSA100德Kruss液滴形状分析仪
瑞士Cytosurge注入器iyFluidFM BOT
激光粒度仪
美SD粒子碰撞噪声检测仪4511A、4511L、4511M4、4511M6
波谱仪器
英国Oxford实验室用智能核磁共振波谱仪Pulsar
细胞生物学仪器
美国Bd单细胞分析系统Rhapsody TM
气体检测仪
日本A&D粒子计数器(粒度计)SV-1A
成像系统
ImageXpress Pico自动细胞成像
质谱检测分析仪
TSQ Fort三重四极杆质谱仪
磁学测量仪器
美Quantum Design多铁材料磁电测量系统Super-ME-II
联系方式 |
产品系列
日本JEOL热场发射扫描电子显微镜JSM-7900F
JEOL新一代场发射扫描电子显微镜的旗舰机型。 它继承了上一代广获好评的性能如极高的空间分辨率、高稳定性、多种功能等的同时,操作性能极大简单化。该设备不依赖操作者的技能,始终能够发挥其**性能。
产品规格:
分辨率 | 1.0 nm (0.5 kV) 0.7 nm (1 kV) 0.6 nm (15 kV) 3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA) |
倍率 | ×10 ~ ×1,000,000 |
加速电压 | 0.01 ~ 30 kV |
探针电流 | 数 pA ~ 500 nA |
检测器(标配) | 高位检测器(UED)、低位检测器(LED) |
电子枪 | 浸没式肖特基Plus场发射电子枪 |
**光阑角控制镜 | 内置 |
物镜 | 超级混合式物镜/SHL |
自动功能 | 自动聚焦、自动消像散、自动调节亮度、自动调节衬度 |
大景深模式(LDF) | 内置 |
样品台 | 全对中测角样品台 |
样品移动 | X:70mm Y:50mm Z:2 ~ 41mm 倾斜轴:-5 ~ 70° 旋转:360° |
马达驱动 | 5轴马达驱动 |
样品交换室 | **直径: 100mm **高度: 40mm |
抽真空系统 | SIP、TMP、RP |
主要特点:
◇ Neo Engine(New Electron Optical Engine)
新一代电子光学控制系统Neo Engine(New Electron Optical Engine),是JEOL电子光学技术荟萃的结晶。 它综合了透镜控制系统和自动化技术,即使改变电子光学条件,光轴的偏离也极小,大大提高了可操作性及观察精度。 无论是谁都可以很简便地发挥出仪器原本的功能。
① 提高了自动功能
样品 : 用CP 制备的矿物截面(树脂包埋) 入射电压 : 5 kV,检测器 : RBED,观察倍率 : ×100,000
不仅提高了自动功能的精度,而且只需要几秒钟就可以聚焦。
② 提高了倍率的精度
样品 : 测长用的样品(MRS5) 入射电压 : 10 kV, 观察倍率: ×50,000
大幅度地提高了倍率的精度,而且实现了高精度测长。
③ 能量过滤器更加易用
样品 : 名片 入射电压 : 1.5 kV, 检测器 : UED, 观察倍率 : ×3,500
即使大幅度改变能量过滤器的设定值,视野或聚焦位置基本不会偏离。
◇ GBSH-S (GENTLEBEAM™ Super High resolution Stage bias mode)
GBSH 是在低加速电压下提高分辨率的一种方法。 新开发的GBSH-S可以给样品台施加高达5 kV的偏压。 因此,使用GBSH模式不需要使用专用的样品杆就可以无缝过渡到其他模式。
※GENTLEBEAM™ 通过给样品施加偏压,起到了对入射电子减速,对出射电子加速的作用。
◇ 新型背散射电子检测器 ※ 选配件
采用新开发的超高灵敏度的背散射电子检测器,可以在清晰的衬度下进行观察。 灵敏度比以往的产品提高了很多,特别是在低加速电压下能得到高衬度的成分像。
旧机型 新机型
样品 : Cu的截面 入射电压 : 3 kV 观察倍率 : ×10,000 WD: 4.5 mm
◇ 新型外观设计
外观设计紧凑,大大节省了安装空间,可以支持多种安装环境。
◇ 新的样品交换方式
采用新设计的样品交换系统(load lock),操作简单了,不仅减少误操作还提高了通量和耐用性。
◇ SMILENAVI
SMILENAVI 是为初学者在短时间内学会基础操作而开发的操作导航系统。 操作人员按照流程,只要点击图标,SEM操作画面就会联动,依照提示引导即可操作。
① 强调操作按钮
只要将鼠标光标挪到SMILENAVI的指南键上,SEM的GUI上的相应键会出现方框。
在SMILENAVI指南里点击按键后,SEM的GUI会变成灰色来强调相应键。
② 显示照片
在SMILENAVI的指南里点击按键后,会显示该按键位置的照片。
③ 显示操作顺序的视频
SMILENAVI的指南里有介绍操作顺序的视频。
继承了旧机型的高性能
◇ 浸没式肖特基 Plus 电子枪
浸没式肖特基Plus FEG 通过与电子枪和低像差聚光镜的组合,性能进一步得到改善,达到了更高的亮度。 能有效地收集从电子枪发射出的电子,即使在低加速电压下,也能获得数pA ~数10 nA 的探针电流,不用交换物镜光阑也能进行高分辨观察和快速元素面分布及EBSD 分析。
◇ ACL(**光阑角控制镜)
ACL(**光阑角控制镜)位于物镜的上方,自动优化整个电流范围内的物镜光阑角。 因此,即使改变探针电流量,也能调整入射电子的扩散,始终可以获取*小的电子束斑。不管是高分辨观察还是X 射线分析,对探针电流的大幅度变化都能轻松对应。
◇ 超级混合式物镜 / SHL
JSM-7900F 标配了JEOL 开发的电磁场叠加物镜 —“超级混合式物镜(SHL)”,对任何样品包括磁性和绝缘材料都能进行超高空间分辨率观察和分析。
◇ 检测器系统
能够同步采集多达4 种检测器的信号。
标配低位检测器(LED)和高位检测器(UED)。 此外,还可以安装选配件:可插拔式背散射电子检测器(RBED)和高位二次电子检测器(USD)。
◇ 高空间分辨率观察
利用GBSH,即使在极低的加速电压下也能进行高分辨率观察。
GBSH下,高空间分辨率观察应用
● 氧化物纳米材料