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半导体行业专用仪器
OAI Model 212紫外光刻机
OAI Model 800E紫外光刻机
OAI掩膜光刻机Model 6000
Model 6020S紫外光刻机
URE-2000/35A型紫外单面光刻机
URE-2000B型紫外单面光刻机
ZEP520A电子束光刻胶
AZ 1500系列i线光刻胶
德国ALLRESIST导电胶AR-PC5090和AR-PC5091
英国EM SML Resist电子束光刻胶
光学仪器及设备
海德堡μMLA桌面无掩模光刻机
OAI UV Led光源
URE-2000/35AL型紫外单面光刻机
URE-2000/30型紫外单面光刻机
URE-2000S/35L(B)型双面光刻机
URE-2000S/35L(A)型紫外双面光刻机
URE-2000S/25S型双面光刻机
URE-2000S/A8型紫外双面光刻机
URE-2000S/A型紫外双面光刻机
URE-2000S/B型紫外双面光刻机
其他
美国NanoArch陶瓷树脂精密3D打印机MicroArch S240
日立Hitachi离子溅射仪MC1000
英国Nanomagnetics振动样品磁强计VSM
英国HHV溅射镀膜仪BT150,BT300
法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统SSDR 150
法国Alyxan高分辨质子传递反应质谱PTR-FTICR MS
德国Sentech光伏测量仪MDPspot
德国Sentech光伏测量仪MDPmap
德国Sentech光伏测量仪器MDPpro
MDPinlinescan在线寿命和电阻率逐行扫描仪
制样/消解设备
NIE-4000离子束刻蚀系统
牛津Oxford等离子体刻蚀机PlasmaPro 80 RIE
美TED Pella高分辨离子溅射仪208HR
美TED PELLA自动离子溅射仪108AUTO
PDC-002美国Harrick扩展型等离子清洗机
PDC-32G-2美国Harrick基本型等离子清洗机
德国Diener等离子清洗机Nano
德国Diener等离子清洗机Zepto
德国Diemer等离子清洗机Femto
德国Diener等离子清洗机
分子生物学仪器
IZON qEV尺寸排阻柱
德国Kruss液滴形状分析DSA25
等离体共振分析仪MP-SPR Navi 220A
Micro Pulser电穿孔仪
英国Cleaver高分辨率垂直电泳系统CSQ20
瑞士罗氏Roche全自动核酸纯化仪MagNA
英国CLEAVER水平电泳系统Horizontal Gel
台式钙流检测工作站FlexStation 3
美国Molecular光吸收型酶标仪SpectraMax 190
美国Sciex遗传分析系统GenomeLab GeXP
清洗/消毒设备
美国必能信Branson台式超声波清洗机CPX1800-8800系列
美国Uvitron全功能紫外面光源Intelli-RAY 400W
紫外线杀菌消毒台灯QD-UV-01
英国Glovebox学术手套箱Academic
英国Glovebox真空室手套箱
PDC-MG美国Harrich高集成度等离子清洗机
美国Uvitron紫外面光源INTELLI-RAY 400W
英国AMBA曝光灯AM7977X,AM11353X(AM7000)
SUSS苏斯光刻机用曝光灯HBO 200W/DC ,HBO 350W/S,
P-Laser激光清洗系统
光谱检测分析仪
曰立Hitachi塞曼原子吸收光谱仪ZA3000
德国neaspec纳米傅里叶红外光谱仪nano-FTIR
美Thorlabs傅立叶红外光谱仪OCS201C,OCS202C,OCS203
德国Bruker ALPHA II FTIR傅立叶变换近红外光谱仪
德国Bruker FT-NIR光谱仪Tango,MPA,Matrix-I
BRAVO手持式拉曼光谱仪
日本JEOL X射线荧光光谱仪JSX-1000S
Dimension FastScan德国BRUKER原子力显微镜AFM
比表面积测定仪
英国MML纳米压痕仪NanoTest Vantage
Kla纳米压痕仪G200,G200X,iMicro
接触角测定仪JY-PHa
德国KRUSS标准型接触角测量仪DSA25
100标准型接触角测量仪/Contact angle measuring dev
100S接触角测量仪
德国Mecwins扫描式激光分析仪SCALA
色谱仪
法SEBIA全自动毛细管电泳仪Capillarys 3 OCTA
LTQ Orbitrap XL ETD液质联用系统
赛默飞Themo Scientific液相色谱系统Vanquish UHPLC
集成型毛细管离子色谱ICS-40
模块化气相色谱仪TRACE 1300
赛默飞多功能离子色谱ICS-5000
X射线仪器
日本Rigaku智能多功能X射线衍射仪Smartlab SE
日本理学XRD X射线多晶衍射仪SmartLab
日本理学台式XRD X射线衍射仪Miniflex 600
德国YXLON高分辨率X射线检测设备-平板探测器
临床检验仪器设备
美国PerkinElmer多功能液闪/发光分析仪MicroBeta
Molecular读板机SpectraMax iD5
无损检测/无损探伤仪器
美国SONIX超声波扫描显微镜ECHO-VS, ECHO Pro
英国AML邦定机AWB 04 & 08 Platform
生物工程设备
DSA100德Kruss液滴形状分析仪
瑞士Cytosurge注入器iyFluidFM BOT
微生物检测仪器
新西兰IZON外泌体分离鉴定系统qNano
Thermo Scientific微生物培养箱Precision
质谱检测分析仪
TSQ Fort三重四极杆质谱仪
磁学测量仪器
美Quantum Design多铁材料磁电测量系统Super-ME-II
激光粒度仪
美SD粒子碰撞噪声检测仪4511A、4511L、4511M4、4511M6
波谱仪器
英国Oxford实验室用智能核磁共振波谱仪Pulsar
细胞生物学仪器
美国Bd单细胞分析系统Rhapsody TM
气体检测仪
日本A&D粒子计数器(粒度计)SV-1A
成像系统
ImageXpress Pico自动细胞成像
联系方式 |
产品系列
日本JEOL热场发射扫描电子显微镜JSM-7610FPlus
· 广受好评的JSM-7610F的光学系统经过改进,实现了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的进一步提升,以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统,提供稳定的高空间分辨率观察和分析。此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。
产品规格:
产品特点:
广受好评的JSM-7610F的光学系统经过改进,实现了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的进一步提升,以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统,能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。
此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。主要特点如下:
◇ 半浸没式物镜
半浸没式物镜在样品周围形成强磁场,因而可以获得超高分辨率。
◇ High Power Optics
High Power Optics 是独特的电子光学系统,既实现了高倍率观察又能进行多种分析。
浸没式肖特基场发射电子枪,可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪(FEG)的探针电流,**光阑角控制镜(ALC)在探针电流增大时也能保持小束斑,两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统,从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的*小物镜光阑而不需要改换。
浸没式肖特基场发射电子枪銃
浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合,可以有效地收集从电子枪内发射的电子。
**光阑角控制镜(ACL)
**光阑角控制镜(ACL)配置在物镜的上方,在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此,即使照射样品的探针电流很大,与传统方式相比,也能获得很小的电子束斑。
即使探针电流很大,束斑直径也很小
长时间分析时稳定度也很高
浸没式消特基场发射电子枪能获得稳定的电子探针
◇ 柔和电子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式
柔和的电子束模式(GB模式)通过给样品添加负电压,从而使电子束在即将撞击样品之前降低着陆电压,因此可以在低加速电压下(*低100V)进行高分辨观察。
由于电子束在样品中散射区域减小,就会容易地观察样品浅表面的精细结构,能减少对热敏样品的的损伤,可以直接观察非导电性样品。
JSM-7610Plus 在GB模式下(1KV)的分辨率为1.0nm
GB 模式的效果
GB 模式在低电压下提高分辨率
左图一般模式,右图GB模式
增强了的低加速电压下的分辨率
◇ r-过滤器
新一代 r-过滤器 是由二次电子控制电极,背散射电子控制电极,过滤器电极组合而成的独特的能量过滤器。当电子束照射样品时,从样品表面会释放出各种能量的电子,新一代r-过滤器 通过组合多个静电场使电子束保持在透射系统的中央,同时还对样品中产生的二次样品和背散射电子进行选样和检测。
新新一代 r-过滤器*多能获得3倍于旧机型的信号量。
新一代 r-过滤器 检测信号的方法
◇ LABE检测器(选配件)
LABE(Low Angle BE)检测器能检测低角度背散射电子。在低加速电压下对样品表面精细的形貌信息,在高加速电压下对样品的组分信息都能进行高分辨观察。
利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像
◇ 扩展性
能谱仪(EDS)
High Power Optics 能充分发挥EDS(SDD)检测器的特长,即使探针电流很大,也不容易饱和。使用低加速电压,大探针电液能在短时间内获取清晰的面分布图。下面的图像显示了在2分针内可以对镍基板表面上极薄的石墨烯薄膜进行分析。
使用基本型SDD nm2 检测器也能在短短的30秒钟内测试100nm厚的多层膜截面。
波谱仪(WDS)
由于High Power Optics 在大探针电流时也能提供很小的电子束斑,因此能充分发挥WDS的特长,使用WDS可以确认用EDS判断的样品的浓度差等。
阴极荧光系统(CL)
阴极荧光是电子束照射样品时产生的发光现象,从样品中发出的光经抛物面反射镜(聚光镜)聚焦后被检测出来。
下面的数据是金刚石(1KW)的二次电子图像和用衍射光栅获得的CL像。用低加速电压观察CL像,可以在高分辨率下观测到金刚石的表面缺陷。